發展歷程
始于登月 為需而生
Originated from Moon landing and born for demand
上世紀六十年代,阿波羅登月計劃發展過程中需要對氣體流量進行精密測量和控制,氣體質量流量控制器應運而生,并很快被研究人員應用于當時剛萌芽的半導體制造行業中。
中國研發 從零起步
Research first in China and developed from blank
中國在上世紀七十年代末開始研發氣體質量流量控制器,當時沒有任何可借鑒的經驗和技術。但幸運的是,接受任務的700廠非常重視這項研發任務,抽調了一批業務骨干組成攻關團隊,團隊中包括畢業于清華大學、北京大學、山東大學等院校的高材生和一批具有實際經驗的高級技師,他們克服了很多困難,不斷的實驗、摸索,最終“功夫不負有心人”,在較短的時間里,我司第一臺氣體質量流量控制器試制成功。