CS系列產品采用了國際領先的技術,申報并獲得66項國家專利,其中PCT2項,發明專利24項。CS 系列產品的各項技術指標均嚴格按照SEMI標準,相對于模擬產品具有精度高,響應快,使用便捷，可實現功能多、易于通訊、擴展性和可兼容性強等優點。CS系列產品已被廣泛應用于半導體、太陽能、燃料電池、真空、分析儀器、光電、制氣、石化、醫療等行業。
產品中心
分類出來
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CS系列質量流量控制器&流量計
D07系列質量流量控制器&流量計
質量流量控制器(MFC)質量流量計(MFM)屬于一種工業自動化儀表， D07系列MFC/MFM為模擬量程，具有不因溫度和壓力的波動而失準、重復性好、自動測量控制、工作壓力范圍寬等特點。自1979年研制出精確測量控制氣體流量的D07-1模擬控制的流量測控產品，我們不斷優化D07系列的性能，滿足不同客戶應用需求。產品種類50余種，涵蓋普通型，大量程型，高精度型，快響應型，耐壓型，金屬密封型等多種類型的需求。
DS系列質量流量控制器
DS系列MFC是壓力式數字型產品，為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。產品支持標準IGS接口，可同時提供數字信號，0～5V模擬信號，可以使用雙電源（±8～±16 VDC）或單電源（+14～+28 VDC）。支持自動故障報警，多氣體多量程等功能。標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。提供功能強大的免費客戶端上位機軟件Digital MFC。產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
D07-7質量流量控制器&流量計
D07-7是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量 。D07-7產品是七星流量計基礎款產品，能滿足客戶流量測控基本需求。
D07-9質量流量控制器&流量計
D07-9是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-9產品是七星流量計研發精度高、響應時間快的模擬產品。
DS300質量流量控制器
DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
D07-11質量流量控制器&流量計
D07-11是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-11產品是七星流量計研發的高壓產品，最高耐壓10MPa。
D07-15質量流量控制器
D07-15是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-15是七星流量計專門針對客戶對流量穩定性的需求研發的高穩流型產品。
D07-19質量流量控制器&流量計
D07-19是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-19產品是七星流量計研發精度高、響應時間快的模擬產品。
D07-23質量流量控制器&流量計
D07-23F是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-23F產品是七星流量計研發精度高、響應時間快的模擬產品。
D07-60質量流量控制器&流量計
D07-60是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-60產品是七星流量計研發大流量的模擬產品，最大量程達2000SLM。
CS200質量流量控制器&流量計
CS200氣體質量流量控制器，采用先進傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品最快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。
CS300質量流量控制器&流量計
CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。
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