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CS300質量流量控制器&流量計
優勢
• 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。
• 高端產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產品金屬表面粗糙度更可達5RA以下，嚴格按照SEMI標準生產制造。
技術參數
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CS300 |
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| 類型 |
CS310C |
CS320C |
CS310D |
CS320D |
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閥類型 |
常開或常閉 |
無 |
常開或常閉 |
無 |
常開或常閉 |
無 |
常開或常閉 |
無 |
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流量規格(N2) |
(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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準確度 |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復精度 |
±0.2% F.S. |
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響應時間 |
≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） |
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工作壓差范圍 |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
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溫度系數 |
零點：≤±0.02% F.S./℃；調節時：≤±0.05% F.S./℃ |
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耐壓 |
3.5 MPa |
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漏率 |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
金屬密封 |
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最大工作壓力 |
0.45MPa |
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工作環境溫度 |
（0～50）℃ |
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輸入信號 |
數字：RS485 或 DeviceNet |
無 |
數字：RS485 或 DeviceNet |
無 |
數字：RS485 或 DeviceNet |
無 |
數字：RS485 或 DeviceNet |
無 |
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輸出信號 |
數字：RS485 或 DeviceNet |
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零漂 |
在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年 |
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電源 |
±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) |
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表面化學成分 |
Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） |
- |
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表面粗糙度 |
Ra 5μinch |
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標準接頭形式 |
VCR1/4陽接頭； |
1.5″B型密封接頭 |
VCR1/4陽接頭； |
1.5″B型密封接頭 |
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電源接頭形式 |
D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 |
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重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
